探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。 廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、速器件的電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制的成本。

維護(hù)

探針測試臺x-y作臺的分類

縱觀內(nèi)外的自動探針測試臺在能及組成上大同小異，即主要由x-y向作臺，可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類，即:以美EG公司為代表的平面電機(jī)型x-y作臺(又叫磁性氣浮作臺)自動探針測試臺和以日本及歐洲家的采用滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y作臺型自動探針測試臺。由于x-y作臺的結(jié)構(gòu)差別很大，所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可概而論，應(yīng)區(qū)別對待。

x-y作臺的維護(hù)與保養(yǎng)

無論是自動探針測試臺還是自動探針測試臺，x-y向作臺都是其zui核心的分。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y作臺的故障，而作臺故障有許多是對其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整成的，所以對作臺的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要。本文僅對自動探針測試臺x-y作臺的維護(hù)與保養(yǎng)作介紹。

2.1 平面電機(jī)x-y步作臺的維護(hù)與保養(yǎng)

平面電機(jī)由定子和動子組成，它和傳統(tǒng)的步電機(jī)相比其殊性就是將定子展開，定子是基礎(chǔ)平臺， 動子和定子間有層氣墊，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y作臺，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。

而定子在過程中廠家根據(jù)不同的要求如分辨力等，用機(jī)的方法在平面的鐵制鑄件上出若干個線槽，線槽間的距離即稱為平面電機(jī)的齒距，而定子則按不同的細(xì)分控制方式，按編制好的運(yùn)行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實(shí)現(xiàn)步運(yùn)動。對定子的損傷將直接影響作臺的步度及設(shè)備使用壽命，損壞嚴(yán)重將成設(shè)備無法使用而報廢。

由于平面電機(jī)的定子及動子是暴露在空氣中，所以潮濕的環(huán)境及長時期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象，另外重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子成損傷，而影響平面電機(jī)的步度及使用壽命，對于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向個方向打磨定子的表面，然后用脫脂棉蘸煤油清洗，整個過程操作要十分地細(xì)心，不可使定子表面出現(xiàn)凹凸不平的現(xiàn)象。另外也可用沒有腐蝕性，不損壞定子的除銹劑除銹。對于正常情況下的定子則要定期作除塵清理作，清理時應(yīng)通入大氣以便動子移動，方法是用脫脂棉蘸少許大于95%的無水乙醇，輕擦定子表面，然后用用具撬起動子，方法同前， 輕擦動子表面，動子的表面有若干個氣孔，它是定子和動子間壓縮空氣的出孔，觀察這此氣孔的放氣是否均勻，否則用具小心旋開小孔中內(nèi)嵌氣孔螺母檢查是否有雜質(zhì)堵塞氣孔，處理畢后應(yīng)恢復(fù)內(nèi)嵌氣孔螺母原始狀態(tài)。需要別注意的是在未加壓縮空氣時不可強(qiáng)行拉動動子，以免成定子及動子的損傷。平面電機(jī)應(yīng)使用在環(huán)境溫度15~25 ℃，相對濕度小于50%的環(huán)境中，其所需的壓縮空氣經(jīng)過干燥過濾處理且與環(huán)境空氣溫度差值小于5 ℃，氣壓為0.4±0.04MPa。