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.質量量控制器. 型號;MHY-22516
.質量量控制器. 簡介:
用于對氣體的質量量行地測量和控制。廣泛用于電子設備、真空鍍膜、 石油化、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。
參數:
滿量程量范圍(N2)
5SCCM~10SLM
控制范圍
2~100%F.S.
閥類型(及閥初始狀態)
電磁調節閥(常閉)
準確度
±1.5%F.S.
線性
±0.5~1.5%F.S.
重復度
±0.2%F.S.
響應時間
≤7sec
作溫度范圍
5~45℃
作壓差
0.1~0.5MPa
耐壓
3MPa
漏氣率
1×10-8atm.cc/sec He
密封材料
氟橡膠(或氯丁橡膠)
電插頭形式
DB15 pin(Female)
接頭選擇
VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose
Swagelok 1/4”或φ6、φ3
重量
1.1Kg
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